[实用新型]一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构有效
| 申请号： | 202020258664.9 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN212314912U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 陈韶华;余海春;张洪 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空薄膜制备技术领域，尤其是一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，其特征在于：所述顶片机构包括至少一个顶片装置，所述顶片装置包括间隔布置的若干顶杆和若干吸盘，其中每个所述顶杆分别连接有凸轮并且每个顶杆可在各自的所述凸轮的驱动下升降，各所述凸轮之间构成传动配合，每个所述吸盘分别连接有弹簧杆，所述弹簧杆可伸缩。本实用新型的优点是：实现基片安全、高效地揭取，保证基片在揭取操作时的安全性，避免基片发生破损，有效保障基片质量；机构整体结构简单合理，自动化程度高且各机构之间配合协调性好，有利于工业化生产，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 稳定 安全 揭取基片 机构 | ||
【主权项】：
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