[实用新型]一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置有效
申请号: | 202020227551.2 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN211295034U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 蒙煜 | 申请(专利权)人: | 广州善准仪器设备有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 广州海石专利代理事务所(普通合伙) 44606 | 代理人: | 邵穗娟 |
地址: | 510000 广东省广州市海珠区江南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置,其特征是:包括密封箱,密封箱的箱口设置有密封门,密封箱内设置有转动件,转动件的转动端连接有安装盘,安装盘可拆卸连接有放置样品的旋转腔体;密封箱内设置产生等离子体的等离子处理器,等离子处理器的喷出端朝向旋转腔体的开口设置,表面处理向外设置有抽气泵,抽气泵的抽气口与密封箱内连通;等离子处理器产生的等离子体的射频频率为40MHz。通过采用上述设置,具有旋转腔体可安装和旋转,利用等离子处理器产生的等离子体可处理不规则颗粒样品的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 不锈钢 等离子 表面 处理 装置 | ||
【主权项】:
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