[实用新型]一种高效减排镀膜机有效
| 申请号： | 202020221680.0 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211999894U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 周磊;詹全委 | 申请（专利权）人： | 珠海和泽科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张龙哺 |
| 地址： | 519045 广东省珠海市金湾区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效减排镀膜机，包括外壳，外壳的内壁设有靶材；外壳内设置有旋转台，旋转台包括底台和多个工件转架，底台设置有多个第一电机，每个工件转架通过旋转轴与第一电机对应连接，底台下设有用于驱动底台旋转的第二电机；外壳设有进气口和出气口，进气口连接有气泵，气泵连接储气罐，出气口连接有压缩泵，压缩泵通过连接管与储气罐连接，连接管设有排气阀。通过转动使工件的镀膜效果更佳，自转的工件转架使装炉量更大，镀膜效率更高；通过压缩泵将外壳内的惰性气体泵回储气罐循环利用，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 镀膜 | ||
【主权项】：
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