[实用新型]一种高效减排镀膜机

权利要求书

1.一种高效减排镀膜机，其特征在于，包括外壳，所述外壳的内壁设有靶材；所述外壳内设置有旋转台，所述旋转台包括底台和绕所述底台的侧边设置的多个工件转架，所述底台设置有多个第一电机，每个所述工件转架通过旋转轴与所述第一电机对应连接，所述底台下设有用于驱动所述底台旋转的第二电机；所述外壳设有进气口和出气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接储气罐，所述出气口连接有压缩泵，所述压缩泵通过连接管与所述储气罐连接，所述连接管设有排气阀。

2.根据权利要求1所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述连接管外螺旋地绕有冷却水管。

3.根据权利要求2所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述连接管由铜制成。

4.根据权利要求1所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述工件转架为圆柱状。

5.根据权利要求1所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述外壳包括第一半釜体、第二半釜体和转轴；所述第一半釜体和所述第二半釜体均与所述转轴铰接，所述第一半釜体与所述第二半釜体闭合形成空腔。

6.根据权利要求5所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述第一半釜体的边沿和所述第二半釜体的边沿均设有密封橡胶条。