[实用新型]一种高效减排镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种高效减排镀膜机，包括外壳，外壳的内壁设有靶材；外壳内设置有旋转台，旋转台包括底台和多个工件转架，底台设置有多个第一电机，每个工件转架通过旋转轴与第一电机对应连接，底台下设有用于驱动底台旋转的第二电机；外壳设有进气口和出气口，进气口连接有气泵，气泵连接储气罐，出气口连接有压缩泵，压缩泵通过连接管与储气罐连接，连接管设有排气阀。通过转动使工件的镀膜效果更佳，自转的工件转架使装炉量更大，镀膜效率更高；通过压缩泵将外壳内的惰性气体泵回储气罐循环利用，节约成本。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备，特别是一种高效减排镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备。在真空条件下，通入惰性气体，惰性气体在高电压电场作用下电离为离子，离子轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。但由于目前的真空镀膜机的工件转架的不合理设置，导致真空镀膜机的装炉量少，生产效率低；同时惰性气体在使用后会被直接排放到大气中，造成浪费，提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种高效减排镀膜机。

本实用新型解决其问题所采用的技术方案是：

一种高效减排镀膜机，包括外壳，所述外壳的内壁设有靶材；所述外壳内设置有旋转台，所述旋转台包括底台和绕所述底台的侧边设置的多个工件转架，所述底台设置有多个第一电机，每个所述工件转架通过旋转轴与所述第一电机对应连接，所述底台下设有用于驱动所述底台旋转的第二电机；所述外壳设有进气口和出气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接储气罐，所述出气口连接有压缩泵，所述压缩泵通过连接管与所述储气罐连接，所述连接管设有排气阀。

上述高效减排镀膜机至少具有以下有益效果：通过第一电机带动工件转架自转，同时通过第二电机带动底台以及底台上的工件转架旋转，使装载在工件转架上各处的工件均可旋转至与靶材相对的位置，从而使工件转架上的所有工件均可被均匀上膜；通过公转和自转的共同作用，工件的镀膜效果更佳，装炉量更大，镀膜效率更高。另外，通过压缩泵将外壳内的惰性气体泵回储气罐循环利用，节约成本。

进一步，所述连接管外螺旋地绕有冷却水管。

具体地，所述连接管由铜制成。

具体地，所述工件转架为圆柱状。

进一步，所述外壳包括第一半釜体、第二半釜体和转轴；所述第一半釜体和所述第二半釜体均与所述转轴铰接，所述第一半釜体与所述第二半釜体闭合形成空腔。

进一步，所述第一半釜体的边沿和所述第二半釜体的边沿均设有密封橡胶条。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型实施例一种高效减排镀膜机图。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。