[实用新型]一种高节能纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020211245.X | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN211689206U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高节能纳米真空镀膜仪，包括蒸发源，所述蒸发源包括具有蒸发腔的坩埚，所述坩埚的顶部设有用于出料的开口，所述坩埚为下宽上窄的圆台形坩埚，所述圆台形坩埚的内底面均匀分布有多个鼓包状凸起，所述圆台形坩埚的外底面上与鼓包状凸起对应的位置向内凹陷。通过在圆台形坩埚的内底面上均匀分布有多个鼓包状凸起，且圆台形坩埚的外底面向内凹陷，在进行真空镀膜时，可以增加蒸发材料与圆台形坩埚底部的受热接触面积，提高蒸发效率；且圆台形坩埚下宽上窄，可以缩小蒸发材料在蒸发时的散射面，能够提高蒸发材料的有效利用率，减少原材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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