[实用新型]蒸镀机喷嘴疏通装置有效
| 申请号： | 202020008168.8 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN211445878U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 范飞飞;曹景博 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李欣 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术领域，公开一种蒸镀机喷嘴疏通装置，蒸镀机喷嘴疏通装置包括：直线驱动组件和疏通组件；其中，直线驱动组件用于驱动疏通组件沿预设方向作伸缩运动，以使疏通组件进出喷嘴。在上述蒸镀机喷嘴疏通装置中，当喷嘴发生堵塞时，利用直线驱动组件驱动驱动疏通组件沿预设方向外伸，疏通组件插入对应的被堵塞的喷嘴，将喷嘴内侧壁附着的蒸镀材料清除掉，使喷嘴恢复通畅性，随后，直线驱动组件驱动疏通组件回缩，疏通组件从喷嘴中出来，完成对喷嘴的疏通工作，蒸镀材料经过喷嘴蒸发出来的速率恢复至喷嘴堵塞前的速率，蒸镀材料在基板表面形成的薄膜厚度恢复均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀机 喷嘴 疏通 装置 | ||
【主权项】：
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