[发明专利]一种导模法生长氧化镓单晶的模具及生长方法在审
| 申请号： | 202011644809.X | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112831832A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 齐红基;赛青林 | 申请（专利权）人： | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/16 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 刘文求;朱阳波 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种导模法生长氧化镓单晶的模具及生长方法。所述模具包括镜像对称设置的多块隔板，所述多块隔板通过固定部固定在一起，相邻两块隔板之间具有狭缝；其中所述多块指的是3块以上。本发明中，模具具有呈镜像对称设置的多块隔板，且相邻两块隔板之间具有狭缝，这样得到一种具有多条狭缝的模具，氧化镓熔体可以通过多条狭缝并行上升到模具的顶部，由于表面张力大小与狭缝长度成正比，多条狭缝可以成倍提高总的表面张力，使得单位时间内通过毛细作用向上提拉的氧化镓熔体总量成倍增多，确保了厚尺寸的氧化镓单晶生长过程的持续和稳定，从而可以生长得到较厚的晶片，在厚度方向上一次可加工出的坯片数量增多，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导模法 生长 氧化 镓单晶 模具 方法 | ||
【主权项】：
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