[发明专利]可控微透镜阵列清洁装置在审
| 申请号： | 202011643336.1 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112718702A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 侯煜;王瑜;岳嵩;王然;张紫辰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B11/00 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可控微透镜阵列清洁装置，包括：环形固定件，环绕所述可控微透镜阵列设置；气体喷出模块，与所述环形固定件内部侧壁连接，所述气体喷出模块设置于所述可控微透镜阵列上方；气体排出模块，与所述环形固定件内部侧壁连接，所述气体排出模块设置于所述可控微透镜阵列上方，所述气体排出模块设置在所述气体喷出模块的对侧。本发明提供的技术方案能够及时清理可控微透镜阵列表面的清洁，保持可控微透镜阵列的清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 可控 透镜 阵列 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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