[发明专利]一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量方法在审
| 申请号： | 202011643059.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112816798A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 唐凯;郎需强 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量方法，该方法不采取封装结构密封，而是采用屏蔽电极和感应电极都可运动，且具有高频往复运动功能，通过高频往复运动实现装置自动清洁的功能。解决了MEMS电场测量结构不加封装易受到外界环境中灰尘的影响，加封装又影响测量精度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 自动 清洁 功能 mems 电场 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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