[发明专利]一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺

摘要

本发明公开了一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺，涉及集成电路制造技术领域，包括工作板，所述工作板的顶部固定连接有加工箱，所述加工箱的内部设置有两块输送板，所述输送板的两端均延伸至加工箱的外侧，该集成电路制造用加工设备，通过设置有叶片，第一气泵的出气端将第一气泵的吸气端吸入的空气排入通气管内部，气体推动叶片转动，使得叶片带动联动杆转动，使得联动杆带动第一锥齿轮转动，使得第一锥齿轮带动第二锥齿轮转动，使得第二锥齿轮带动连动杆转动，使得连动杆带动第二蜗杆转动，使得第二蜗杆带动第二蜗轮转动，使得第二蜗轮带动清理辊对电路板表面清理，从而提高了电路板的清理效果，从而提高了加工效率。