[发明专利]一种钼镍合金靶材及其制备方法有效
申请号: | 202011637587.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112813393B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 王娜;武洲;吴吉娜;安耿;朱琦;张铁军;李森 | 申请(专利权)人: | 金堆城钼业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C27/04;C22C1/04;B22F3/105 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 戴媛 |
地址: | 710077 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种钼镍合金靶材,由以下质量组分组成:Ni元素5%‑50%,余量为Mo元素,以上组分的质量分数百分比为100%。本发明钼镍合金靶材的制备方法,采用放电等离子体烧结技术,通过调节直流脉冲电流的大小来控制升温速率和烧结温度,具有升温速度快、烧结时间短、节能环保,工艺简单,成本低的特点,实现了钼镍合金靶材的短流程制备,同时所制备的钼镍合金靶材具有晶粒细小、高致密度的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 镍合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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