[发明专利]一种钼镍合金靶材及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011637587.9 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112813393B 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 王娜;武洲;吴吉娜;安耿;朱琦;张铁军;李森 申请(专利权)人: 金堆城钼业股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C22C27/04;C22C1/04;B22F3/105
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 戴媛
地址: 710077 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种钼镍合金靶材,由以下质量组分组成:Ni元素5%‑50%,余量为Mo元素,以上组分的质量分数百分比为100%。本发明钼镍合金靶材的制备方法,采用放电等离子体烧结技术,通过调节直流脉冲电流的大小来控制升温速率和烧结温度,具有升温速度快、烧结时间短、节能环保,工艺简单,成本低的特点,实现了钼镍合金靶材的短流程制备,同时所制备的钼镍合金靶材具有晶粒细小、高致密度的特点。
搜索关键词: 一种 镍合金 及其 制备 方法
【主权项】:
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