[发明专利]体声波谐振器组件及制造方法、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 202011633265.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113497595B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;牛鹏飞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/15;H03H9/17;H03H9/46;H03H9/48;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器组件及制造方法。该组件包括：基底；声学镜空腔；至少两个谐振结构，所述至少两个谐振结构共用同一压电层以及所述基底：和支撑层，设置在基底与压电层之间，其中：所述压电层为单晶压电层，压电层与基底彼此间隔开的平行设置；所述支撑层限定所述声学镜空腔的边界的至少一部分。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 组件 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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