[发明专利]一种磁流体一体式坩埚旋转机构在审
| 申请号： | 202011623265.9 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112593192A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 曹恒涛 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了解决急需一种既可以密封又可以长期使用不泄露的技术来改变现状的问题，本发明提出一种磁流体一体式坩埚旋转机构，包括：蒸镀机内腔底板、坩埚、磁流体、电机、联轴器、齿轮轴、第一齿轮、第二齿轮，在坩埚内部设有敞口的多个反应腔，每个反应腔装有的原料不同，通过电机带动联轴器带动磁流体转动，磁流体带动第一齿轮转动，第一齿轮带动齿轮轴转动，齿轮轴带动第二齿轮转动从而带动坩埚转动，坩埚的反应腔的敞口上设有遮板，遮板上设有第一通孔，当坩埚转动到指定位置，坩埚的其中一个反应腔与第一通孔连通，一体化设计既可以解决繁琐的机械组合，同时又能够满足长时间旋转不漏真空的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 体式 坩埚 旋转 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司，未经苏州佑伦真空设备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011623265.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
