[发明专利]超灵敏电容式柔性压力传感器及其制备方法

摘要

本发明属于电容传感器领域，并具体公开了超灵敏电容式柔性压力传感器及其制备方法。该超灵敏电容式柔性压力传感器包括上电极层、中间电介质层和下电极层，其中：上电极层和下电极层的结构相同，均包括柔性基体材料和镶嵌在该柔性基体材料表面的导电材料；中间电介质层的表面具有微凹槽结构，同时该微凹槽结构内部设置有微锥结构，以通过增大中间电介质层与上电极层或下电极层的接触面积，提高超灵敏电容式柔性压力传感器的灵敏度。本发明通过在电介质层表面设置微凹槽结构，使得电介质层能够在较宽的压力范围内显示出较大的变形和可压缩性，同时通过在微凹槽结构内部设置微锥结构，能够使得电介质层在较宽的压力范围内具有较高的灵敏度。