[发明专利]一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置在审
申请号: | 202011589840.8 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112611958A | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 虞君新 | 申请(专利权)人: | 无锡圆方半导体测试有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 214192 江苏省无锡市锡山区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置,该方法包括:晶圆上机正常测试前,将测试机连接转换切换器,将转换切换器连接探针台和测试Socket座,将样片放置在所述测试Socket座上,测试机测试样片的关键参数值并存入存储装置;芯片测试前,用户根据产品需求设定检测频率,测试机自动切换转换切换器连接探针台,当累计测试芯片达到所设定的检测频率后,测试机自动切换转换切换器连接测试Socket座;计算单元调取关键参数值,计算偏移量,若在设定合格范围内,则测试机自动切换转换切换器连接探针台,继续正常测试,否则自动停止测试。本发明能够有效的自动防止测试机误差异常,确保芯片关键参数的准确性及一致性。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 芯片 关键 参数 偏移 方法 装置 | ||
【主权项】:
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