[发明专利]一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置在审

专利信息
申请号: 202011589840.8 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112611958A 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 虞君新 申请(专利权)人: 无锡圆方半导体测试有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 214192 江苏省无锡市锡山区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置,该方法包括:晶圆上机正常测试前,将测试机连接转换切换器,将转换切换器连接探针台和测试Socket座,将样片放置在所述测试Socket座上,测试机测试样片的关键参数值并存入存储装置;芯片测试前,用户根据产品需求设定检测频率,测试机自动切换转换切换器连接探针台,当累计测试芯片达到所设定的检测频率后,测试机自动切换转换切换器连接测试Socket座;计算单元调取关键参数值,计算偏移量,若在设定合格范围内,则测试机自动切换转换切换器连接探针台,继续正常测试,否则自动停止测试。本发明能够有效的自动防止测试机误差异常,确保芯片关键参数的准确性及一致性。
搜索关键词: 一种 防止 芯片 关键 参数 偏移 方法 装置
【主权项】:
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