[发明专利]一种电子器件用氮化镓单晶材料的快速抛光方法在审
| 申请号： | 202011589059.0 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112757150A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张子卿 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 许洁 |
| 地址： | 226000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子器件用氮化镓单晶材料的快速抛光方法，属于晶体加工技术。本发明针对蓝宝石等异质衬底上生长的氮化镓单晶材料的外形特征，其单晶材料的上下表面均不平整，且厚度较小，无法通过磨床等工具加工，本发明提出一种晶片固定装置，结合定向仪，可以快速固定并确定抛光面的氮化硅单晶片，通过机械抛光后可以得到平整的晶片晶面。本方法工艺简单易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子器件 氮化 镓单晶 材料 快速 抛光 方法 | ||
【主权项】：
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