[发明专利]一种均一厚度超滑石墨岛的制作方法有效

专利信息
申请号: 202011580952.7 申请日: 2020-12-28
公开(公告)号: CN112661150B 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 郭文瑞;郑泉水 申请(专利权)人: 深圳清华大学研究院;清华大学
主分类号: C01B32/21 分类号: C01B32/21
代理公司: 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 代理人: 满群
地址: 518057 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种均一厚度超滑石墨岛的制作方法,包括如下步骤:将第一尺寸石墨块从任意解离面上分离后形成第一尺寸石墨岛;将第一尺寸石墨岛转移至衬底上;对第一尺寸石墨岛加工并分割形成若干个第二尺寸石墨岛;筛选出具有超滑特性的第二尺寸石墨岛。通过先制作含有局部不超滑界面的大尺寸的第一尺寸石墨岛,然后将其转移到衬底上进行二次加工,将大尺寸的第一尺寸石墨岛切割为若干个小的第二尺寸石墨岛,然后将不能够实现超滑的第二尺寸石墨岛筛出后,就可以得到均一厚度的超滑石墨块,此工艺简单方便,克服了现有制作工艺中超滑石墨岛的高度不一致,难以拼接和组装的问题。
搜索关键词: 一种 均一 厚度 滑石 制作方法
【主权项】:
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