[发明专利]气体供应组件、其部件和包括其的反应器系统在审
| 申请号： | 202011578034.0 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN113069999A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄剑秋;赵格剑;K.丰杜鲁利亚 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00;B01J12/00;C23C16/455;C23C16/448 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了气体供应组件和包括气体供应组件的反应器系统。一种示例性气体供应组件包括：容器、阀板、包封容器和阀板的壳体、具有在壳体内部的第一端和在壳体外部的第二端的气体馈通件、以及附接到阀板的一个或多个阀，其中至少一个阀流体地联接到容器的内部。该组件可进一步包括可移除气体管线，可移除气体管线具有联接到至少一个阀的第一端和联接到气体馈通件的第二端。附加地或备选地，气体供应组件可包括联接到阀板的一个或多个阀板平整装置。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供应 组件 部件 包括 反应器 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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