[发明专利]气体供应组件、其部件和包括其的反应器系统

权利要求书

1.一种气体供应组件，包括：

容器；

阀板；

壳体，所述壳体包封所述容器和所述阀板；

气体馈通件，所述气体馈通件具有在所述壳体内部的第一端和在所述壳体外部的第二端；

附接到所述阀板的一个或多个阀，其中至少一个阀流体地联接到所述容器的内部；以及

可移除气体管线，所述可移除气体管线具有联接到所述至少一个阀的第一端和联接到所述气体馈通件的第二端。

2.根据权利要求1所述的气体供应组件，进一步包括在所述容器和所述阀板之间的盖。

3.根据权利要求1所述的气体供应组件，其中所述容器保持固体前体。

4.根据权利要求3所述的气体供应组件，其中所述容器的容量大于500g或介于约500g与约2kg之间，或介于约500g与约1.75kg之间，或介于约750g至约1.5kg之间。

5.根据权利要求1所述的气体供应组件，其中所述容器保持液体前体。

6.根据权利要求5所述的气体供应组件，其中所述容器的容量大于0.5L或介于约0.5L与约2L之间，或介于约0.75L与约2L之间，或介于约0.75L至约1.5L之间。

7.根据权利要求1所述的气体供应组件，进一步包括联接到所述阀板的一个或多个阀板平整装置。

8.根据权利要求7所述的气体供应组件，其中所述一个或多个阀板平整装置中的至少一个包括固定销。

9.根据权利要求1所述的气体供应组件，进一步包括滴盘和附接到所述滴盘的止动件。

10.根据权利要求1所述的气体供应组件，其中所述可移除气体管线包括第一端和联接到所述第一端的导管。

11.根据权利要求10所述的气体供应组件，其中所述第一端与所述导管之间的角度大于零且小于180度。

12.根据权利要求10所述的气体供应组件，进一步包括在所述第一端与第二端之间的联接器。

13.根据权利要求1所述的气体供应组件，进一步包括上覆所述可移除气体管线的至少一部分的气体管线罩。

14.根据权利要求1所述的气体供应组件，其中所述气体馈通件包括壳。

15.根据权利要求14所述的气体供应组件，其中所述气体馈通件进一步包括嵌入所述壳中的加热器。

16.一种气体供应组件，包括：

容器；

阀板；

壳体，所述壳体包封所述容器和所述阀板；

气体馈通件，所述气体馈通件具有在所述壳体内部的第一端和在所述壳体外部的第二端；

附接到所述阀板的多个阀，其中所述多个阀中的至少一个阀流体地联接到所述容器的内部；以及

联接到所述阀板的一个或多个阀板平整装置。

17.根据权利要求16所述的气体供应组件，进一步包括可移除气体管线，所述可移除气体管线具有联接到所述至少一个阀的第一端和联接到所述气体馈通件的第二端。

18.根据权利要求16所述的气体供应组件，进一步包括在所述容器下方的加热器板。

19.根据权利要求18所述的气体供应组件，进一步包括联接到所述加热器的一个或多个加热器平整装置。

20.一种组件，包括：

阀板；

联接到所述阀板的一个或多个阀板平整装置；

基部；以及

用于平整阀板的量规。