[发明专利]基于光纤的低温近场光学显微镜在审
| 申请号： | 202011567791.8 | 申请日： | 2020-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN112595860A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 刘锐 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18;G02B21/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王大国 |
| 地址： | 314001 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜，用于测量样品，包括光学部分和扫描机械部分，光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构，所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本发明公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序，还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响，其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光纤 低温 近场 光学 显微镜 | ||
【主权项】：
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