[发明专利]基于光纤的低温近场光学显微镜

权利要求书

1.一种基于光纤的低温近场光学显微镜，用于测量样品，包括光学部分和扫描机械部分，其特征在于，光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构，其中：

所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接；

所述光纤耦合器的第一出射端口与所述近场耦合结构固定连接，所述近场耦合结构用于将所述光源发射的光波束汇聚于扫描机械部分的扫描探针的针尖上的有效近场散射区域并且收集样品近场信息，所述光纤耦合器的第二出射端口与所述干涉臂固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其特征在于，所述光源包括激光器和光纤隔离器，所述光纤隔离器与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述光纤隔离器远离所述光纤耦合器的一端与所述激光器固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其特征在于，所述激光器包括激光源、光学透镜组、第一光纤、第一固定结构和驱动控制电路，所述激光源、所述光学透镜组和所述第一光纤均安装于所述第一固定结构，所述光学透镜组安装于所述激光源和所述第一光纤之间，所述第一光纤与所述光纤隔离器靠近所述激光器的一端连接。

4.根据权利要求3所述的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其特征在于，所述干涉臂包括由压电陶瓷驱动的光纤拉伸器和末端安装有反向耦合器的第二光纤，所述第二光纤缠绕固定于所述光纤拉伸器，所述第二光纤远离反向耦合器的一端与所述光纤耦合器的第二出射端口固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其特征在于，所述近场耦合结构包括传输光纤、准直透镜、耦合透镜和第二固定结构，所述传输光纤、所述准直透镜和所述耦合透镜均安装于所述第二固定结构，所述准直透镜安装于所述传输光纤和所述耦合透镜之间，所述传输光纤与所述第一出射端口连接。