[发明专利]一种基于纳米电流通道的相变存储器有效
申请号: | 202011565602.3 | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112701221B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 程晓敏;李瀚;曾运韬;朱云来;刘香君;缪向水 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人: | 廖盈春;曹葆青 |
地址: | 430074 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于纳米电流通道的相变存储器,使用的纳米电流通道层结构用以限制电流的路径,使得电流在流经该层时从高电导率纳米晶粒进入相变层,电流被限制在纳米电流通道中,该纳米级导电通道大大减小了相变层与电极层之间的接触面积,并极大地提高了局部接触部位的电流密度,提高了电流在相变层中的产热效率。同时,低电导率低热导率的绝缘绝热材料阻止了相变层中的热量向电极层散失,提高了相变层的电热利用效率。与采用更先进制程制作的尽可能小的相变单元相比,本发明能够突破工艺限制,进一步缩小电极与相变材料的有效接触面积,工艺简单,使得相变存储器能够轻松实现操作功耗降低。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 纳米 电流 通道 相变 存储器 | ||
【主权项】:
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