[发明专利]一种零部件表面污染物组分的非破坏性检测方法在审
| 申请号： | 202011561695.2 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112557431A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李文阁;贺贤汉;侯晓晨;张正伟;蒋立峰 | 申请（专利权）人： | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陆叶 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及检测技术领域。一种零部件表面污染物组分的非破坏性检测方法，包括如下步骤：步骤一，双面导电胶带固定；将扫描电子显微镜的样品台上铺设双面导电胶带；步骤二，样品台取样；撕除双面导电胶带上的保护条，将待测的零部件表面区域粘附在样品台上的双面导电胶上；步骤三，样品台密封保存；将样品台取下并放入洁净的样品台管中并固定，将样品台管密封；步骤四，对异物区域进行EDX图谱采集；从样品台管中取下样品台并放入扫描电子显微镜的样品舱中，利用扫描电子显微镜观察双面导电胶上粘附的异物，并用能谱仪对异物区域进行EDX图谱采集；步骤五：对EDX谱图进行元素定性和半定量分析，得到零部件表面物质的元素组成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 零部件 表面 污染物 组分 破坏性 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海富乐德智能科技发展有限公司，未经上海富乐德智能科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011561695.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
