[发明专利]一种金属掩膜版框架安全夹具有效
| 申请号： | 202011546493.0 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112873082B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 钱超;杨波 | 申请（专利权）人： | 江苏高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 212400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了掩膜版技术领域的一种金属掩膜版框架安全夹具，包括固定基座和夹具支架，夹具支架之间设置有对位部件，所述对位部件可向内部进行手动滑动，夹具支架上安装气动微调节夹具，气动微调节夹具用微气流作为动力，推动夹持部对掩膜版的框架侧边进行夹持，调节夹持力度，冲支台对掩膜版的底部区域进行缓冲支撑，掩膜版整体底部受力均匀，本发明通过设置对位部件将掩膜版的框架进行挤压对齐，保证掩膜版在夹持前保持稳定和正确的夹持姿态，通过设置的气动微调节夹具通过控制气体的流速控制夹头的夹持力度，气体推动提供推力更加便于对精密部件的缓冲夹持，避免机械结构操作的夹持力过大对掩膜版外部造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 掩膜版 框架 安全 夹具 | ||
【主权项】：
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