[发明专利]一种气室镀膜能量转移与弛豫特性的纳米尺度同时显微测量系统有效
| 申请号： | 202011539396.9 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112433071B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;马宗敏;唐军;石云波;张晓明;郭浩;温焕飞;董诚;魏久焱 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01N21/01;G01N21/84 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种气室镀膜能量转移与弛豫特性的纳米尺度同时显微测量系统，由空间弛豫特性检测单元、原子力显微镜能量转移微区检测单元、屏蔽筒、镀膜碱金属原子气室、数据处理单元和磁场控制线圈组成。空间弛豫特性检测单元由激光器、光隔离器、空间光滤波器、反射镜、格兰泰勒透镜、四分之一波片、空间光调制器、聚焦透镜、四分之一波片、偏振片、PD检测单元、I/V放大单元、数据采集单元、分光镜、光学斩波器组成；能量转移微区检测单元由镀膜样品、探针、起振器、激光器、四象限光电探测单元、带通滤波器单元、自动增益控制器、加法器、压电扫描筒、样品台和PI控制器组成。本发明用于碱金属原子气室中抗弛豫镀膜碰撞能量转移与碱金属弛豫时间的关联表征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 能量 转移 特性 纳米 尺度 同时 显微 测量 系统 | ||
【主权项】：
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