[发明专利]一种Plasma机器均匀性测试方法有效
| 申请号： | 202011523718.0 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112781901B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 徐慧娟 | 申请（专利权）人： | 东莞美维电路有限公司 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 范小凤 |
| 地址： | 523125 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：步骤一、准备若干测试片，将测试片烘烤后放进干燥皿里冷却至常温后称重并做标记；步骤二、将测试片分别放进覆铜治具板内；步骤三、将覆铜冶具板及若干覆铜假板以一定规律放入于Plasma机器内；步骤四、Plasma机器均匀性测试；步骤五、Plasma做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片进行烘烤，之后放进干燥皿里进行冷却至常温，再对测试片进行称重；步骤六、结果计算，九个区域的测试结果百分比均需≥70%才算合格。本发明对整个Plasma机器的均匀性及生产产品时的稳定性，进行全方面的评估和监控，从而可确保Plasma机器投入量产时性能稳定、产品质量稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 plasma 机器 均匀 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞美维电路有限公司，未经东莞美维电路有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011523718.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有旋风分离的燃气轮机油气分离器
- 下一篇：一种辅助加工膨化食品的锅炉
