[发明专利]一种Plasma机器均匀性测试方法

权利要求书

1.一种Plasma机器均匀性测试方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤一、准备若干测试片，将测试片在135℃下烘烤30min，之后放进干燥皿里冷却至常温，将冷却后的测试片进行称重并做标记；

步骤二、准备三覆铜治具板及若干覆铜假板，将若干测试片分别放进做好的覆铜治具板内，每一覆铜冶具板上装有9块测试片，横、竖各排列3块，每一横排测试片为一个区域；

步骤三、测试片上板位置及方式，测试片上板位置及方式包括针对板边及板中的测试位置及方式；所述Plasma机器内设有一腔体，所述腔体的两相对侧面上设有一进气孔及一出气孔；该腔体内设置有若干铝框，若干铝框沿进气孔、出气孔排列方向排列；每一铝框内能够并列放置两覆铜冶具板或两覆铜假板或一覆铜冶具板、一覆铜假板；其中，针对板边时，将三组覆铜冶具板及若干覆铜假板放置于Plasma机器内；三覆铜冶具板分别装设于不同的铝框内，且第一覆铜冶具板与第二覆铜冶具板之间放置有六排装有覆铜假板的铝框，第二覆铜冶具板与第三覆铜冶具板之间放置有五排装有覆铜假板的铝框，此外，每一覆铜冶具板所在的铝框内还并列装设有一覆铜假板；

针对板中时，三覆铜冶具板间隔装设于铝框中部，且覆铜冶具板正对进气孔、出气孔设置，覆铜冶具板外侧及两覆铜冶具板之间的铝框内均并列装设有两覆铜假板；

步骤四、进行Plasma机器均匀性测试；

步骤五、Plasma机器均匀性测试做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片在135℃进行烘烤30min，之后放进干燥皿里冷却至常温，再对测试片进行称重；

步骤六、结果计算，每一覆铜冶具板上的三个测试片为一个区域，则三覆铜冶具板共计有九个区域，九个区域的测试结果百分比均需≥70%才算合格；

测试结果比例=1-（区域重量最大值-区域重量最小值）/（2*重量平均值）；其中区域重量最大值为Plasma均匀性测试后一个区域三个测试片称重的最大值，区域重量最小值为Plasma均匀性测试后一个区域三个测试片称重的最小值，而重量平均值则为最大值与最小值的平均。

2.如权利要求 1 所述的一种 Plasma 机器均匀性测试方法，其特征在于：所述测试片的四角用高温胶带粘贴固定。

3.如权利要求 1 所述的一种 Plasma 机器均匀性测试方法，其特征在于：所述覆铜冶具板由覆铜拖缸板制作而成。