[发明专利]一种Plasma机器均匀性测试方法

说明书

一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：步骤一、准备若干测试片，将测试片烘烤后放进干燥皿里冷却至常温后称重并做标记；步骤二、将测试片分别放进覆铜治具板内；步骤三、将覆铜冶具板及若干覆铜假板以一定规律放入于Plasma机器内；步骤四、Plasma机器均匀性测试；步骤五、Plasma做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片进行烘烤，之后放进干燥皿里进行冷却至常温，再对测试片进行称重；步骤六、结果计算，九个区域的测试结果百分比均需≥70%才算合格。本发明对整个Plasma机器的均匀性及生产产品时的稳定性，进行全方面的评估和监控，从而可确保Plasma机器投入量产时性能稳定、产品质量稳定。

技术领域

本发明涉及一种测试方法，尤其涉及一种Plasma机器均匀性测试方法。

背景技术

等离子除胶在线路板行业中非常重要，针对高Tg无卤素板料，若没有等离子除胶的工艺，就会出现IP分离的问题。因此，如何评估Plasma机器的性能、如何建立系统的监控方法以确认Plasma后的测试效果，是重中之重。然而，目前很多PCB厂在做等离子除胶Plasma时，没有统一的Plasma均匀性测试方法，无法评估Plasma机器是否能达到相关的要求以及Plasma后的产品是否满足生产最高难度的生产板的要求。

发明内容

为此，本发明的目的在于提供一种Plasma机器均匀性测试方法，以解决传统方法无法评估Plasma是否能达到相关的要求以及Plasma后的产品是否满足生产最高难度生产板要求的问题。

一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：

步骤一、准备若干测试片，将测试片在135℃下烘烤30min，之后放进干燥皿里冷却至常温，将冷却后的测试片进行称重并做标记；

步骤二、准备三覆铜治具板及若干覆铜假板，将若干测试片分别放进做好的覆铜治具板内，每一覆铜冶具板上装有9块测试片，横、竖各排列3块，每一横排测试片为一个区域；

步骤三、测试片上板位置及方式，将覆铜冶具板及若干覆铜假板放置于Plasma机内；所述Plasma机内设有一腔体，所述腔体的两相对侧面上设有一进气孔及一出气孔；该腔体内设置有若干铝框，若干铝框沿进气孔、出气孔排列方向排列；三覆铜冶具板分别装设于不同的铝框内，相邻覆铜冶具板之间及外侧的铝框内装有覆铜假板；

步骤四、进行Plasma均匀性测试；

步骤五、Plasma均匀性测试做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片在135℃进行烘烤30min，之后放进干燥皿里冷却至常温，再对测试片进行称重；

步骤六、结果计算，每一覆铜冶具板上的三个测试片为一个区域，则三覆铜冶具板共计有九个区域，九个区域的测试结果百分比均需≥70%才算合格；

测试结果比例=1-（最大值-最小值）/（2*平均值）。

进一步地，在步骤三中，所述测试片上板位置及方式是针对板边的测试位置及方式，每一铝框内并列放置两覆铜冶具板或两覆铜假板或一覆铜冶具板、一覆铜假板，每一覆铜冶具板所在的铝框内还并列装设有一覆铜假板。

进一步地，在步骤三中，针对板中时，三覆铜冶具板间隔装设于铝框中部，且覆铜冶具板正对进气孔、出气孔设置，覆铜冶具板外侧及两覆铜冶具板之间的铝框内均并列装设有两覆铜假板。

进一步地，所述测试片四角用高温胶带粘贴固定。

进一步地，所述覆铜冶具板由覆铜拖缸板制作而成。

进一步地，在步骤四中，测试参数使用Plasma对应的测试参数R6K 15min。

一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：

步骤一、准备若干测试片，每一测试片上均钻有9个孔并做编号；