[发明专利]一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器在审
| 申请号： | 202011512612.0 | 申请日： | 2020-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN112484889A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王俊强;黄佳维;毛喜玲;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学南通智能光机电研究院;中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/06 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于高温压力测试技术领域，具体涉及一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器，包括封装外壳、上端盖、陶瓷基座、检测基片和互连组件，所述封装外壳的顶部设置有上端盖，所述封装外壳的内部设置有陶瓷基座，所述陶瓷基座中部开设有方形安装槽，所述检测基片设置在陶瓷基座的方形安装槽内，所述互连组件的一端与检测基片连接，所述互连组件的另一端与外部设备进行连接，从而将压力信号传递出来。本发明利用二维材料石墨烯纳米膜作为测压元件，极大提高了压力传感器的响应速度；同时本发明极大提高了传感器的高温耐受性、气密性和可靠性，可以20MPa的高压环境下，700℃以上可以稳定工作。本发明用于压力的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 膜结构 石墨 高温 压力传感器 | ||
【主权项】：
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