[发明专利]一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备

摘要

本发明公开了一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，包括壳体、薄膜和箱体，所述壳体的内侧设置有第一收放卷、第一导辊、第二导辊、第三导辊和第二收放卷，所述壳体的内侧固定连接有三个安装座，每个所述安装座的内表面设置有靶电极，三个所述安装座分别位于所述第一导辊、第二导辊和第三导辊的外侧，所述薄膜分别与第一收放卷、第一导辊、第二导辊、第三导辊和第二收放卷接触，所述壳体上开设有两个对称分布的通槽，所述薄膜分别穿过两个通槽且延伸至壳体的外侧，本发明涉及一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，具有提高薄膜质量以及加快成品的特点。