[发明专利]一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备

权利要求书

1.一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：包括壳体(1)、薄膜(8)和箱体(16)，所述壳体(1)的内侧设置有第一收放卷(2)、第一导辊(3)、第二导辊(301)、第三导辊(302)和第二收放卷(6)，所述壳体(1)的内侧固定连接有三个安装座(4)，每个所述安装座(4)的内表面设置有靶电极(5)，三个所述安装座(4)分别位于所述第一导辊(3)、第二导辊(301)和第三导辊(302)的外侧，所述薄膜(8)分别与第一收放卷(2)、第一导辊(3)、第二导辊(301)、第三导辊(302)和第二收放卷(6)接触，所述壳体(1)上开设有两个对称分布的通槽(7)，所述薄膜(8)分别穿过两个通槽(7)且延伸至壳体(1)的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述壳体(1)的外部固定连接有顶板(9)，所述顶板(9)的底部固定连接有抵压座(10)，所述抵压座(10)的内侧壁设置有两个对称分布的滑轨(15)，每个所述滑轨(15)的内部滑动连接有滑轮(14)，两个所述滑轮(14)之间固定连接有移动座(12)，所述移动座(12)的底部固定连接有两个对称分布的连接块(121)，两个所述连接块(121)之间转动连接有压辊(13)，所述压辊(13)与薄膜(8)接触，所述抵压座(10)的内侧固定连接有第一弹簧(11)，所述第一弹簧(11)的一端与抵压座(10)的内表面固定连接，所述第一弹簧(11)的另一端与移动座(12)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述箱体(16)上开设有两个对称分布的安装槽(17)，每个所述安装槽(17)的内侧固定连接有固定轴(18)，所述固定轴(18)的外部转动连接有滑辊(19)，两个所述滑辊(19)均与薄膜(8)接触，所述箱体(16)的内侧底部固定连接有热力箱(20)，所述热力箱(20)的上端固定连接有烘干管(21)，所述烘干管(21)贯穿箱体(16)，所述箱体(16)的内侧底部固定安装有气泵(34)，所述气泵(34)上固定连接有连接管(35)，所述连接管(35)远离气泵(34)的一端与热力箱(20)固定连接，所述气泵(34)上固定连接有进气管(36)，所述进气管(36)贯穿箱体(16)。

4.根据权利要求3所述的一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述烘干管(21)远离热力箱(20)的一端固定连接有导流罩(211)，所述导流罩(211)为硅胶材质。

5.根据权利要求3所述的一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述热力箱(20)的内壁固定连接保温层(37)，所述保温层(37)为橡塑海绵。

6.根据权利要求3所述的一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述热力箱(20)的内侧安装有电加热管(22)，所述热力箱(20)的内侧壁固定连接有固定块(23)，所述固定块(23)的内部设置有卡槽(24)，所述卡槽(24)的内部卡接安装板(25)，所述安装板(25)上设置有过滤网(26)，所述热力箱(20)的侧壁内部固定连接有密封套(28)，所述密封套(28)的内部滑动连接有安装板(25)，所述安装板(25)的内部开设有限位槽(27)，所述热力箱(20)的外部固定连接有支撑块(29)，所述支撑块(29)的内部滑动连接有限位杆(30)，所述限位杆(30)的一端与限位槽(27)滑动连接，所述限位杆(30)的另一端固定连接有拉块(31)，所述拉块(31)与支撑块(29)接触。

7.根据权利要求6所述的一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述限位杆(30)的外部通过螺纹连接有限位环(32)，所述限位杆(30)的外部套接有第二弹簧(33)。

8.根据权利要求7所述的一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述第二弹簧(33)的一端接触有支撑块(29)，所述第二弹簧(33)的另一端接触有限位环(32)。