[发明专利]一种靶体可移动的平面靶结构有效
| 申请号： | 202011494634.9 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112680702B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 汪选林 | 申请（专利权）人： | 深圳森丰真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 陈映辉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶体可移动的平面靶结构，包括：安装座，安装座上设有第一驱动机构和第二驱动机构；第一挡板，第一挡板与安装座固定相连，第一挡板限定出容纳腔，容纳腔的的一侧敞开形成工作口；第二挡板，第二挡板与安装座转动相连，第一驱动机构与第二挡板相连，第一驱动机构用于驱动第二挡板转动以打开或关闭工作口；靶体，靶体位于容纳腔内，靶体的上端设有靶头，靶头与安装座滑动相连，第二驱动机构与靶头相连，第二驱动机构用于驱动靶头滑动以使得靶头和靶体的至少部分通过工作口滑出容纳腔外或滑入容纳腔内。本装置中的靶体位置可根据需要进行改变，能够根据靶材的不同来调整靶基距，结构简单，便于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶体可 移动 平面 结构 | ||
【主权项】：
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