[发明专利]一种高分辨率微显示器缺陷修复方法在审
| 申请号： | 202011492322.4 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112599713A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 吕迅;赵铮涛;刘胜芳;邓琼;王志超 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L21/66 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 钟雪 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高分辨率微显示器缺陷修复方法，所述方法具体包括如下步骤：S1、定义亮点的亮度阈值，定位微显示器中的亮点坐标；S2、将亮点坐标导入聚焦粒子束设备，聚焦粒子束设备对亮点坐标对应的像素进行缺陷修复。本发明通过使用自动点屏和光学测试设备自动定位缺陷坐标，FIB设备根据缺陷坐标自动定位，FIB直接沉积遮挡层或者先切割再沉积保护层，从而实现缺陷的自动定位和自动修补，解决了激光修补精度差，不能修补微显的问题，同时避免了激光修补热效应导致的邻近像素失效和封装失效的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高分辨率 显示器 缺陷 修复 方法 | ||
【主权项】：
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