[发明专利]一种光刻机静电消除装置

摘要

本发明公开了一种光刻机静电消除装置，属于半导体静电消除领域，应用于晶圆传输过程中去除晶圆表面的静电，包括：预对准机构，预对准机构具有一预对准台；传输通道，传输通道内设有一导轨，导轨的一端固定连接于预对准台的一侧；晶圆传输载台，晶圆传输载台设置于导轨上，用于放置晶圆，并沿着导轨的方向传输；工作台，设置于传输通道的上方；静电消除装置，固定设置于工作台上，且位于传输通道的下方。本技术方案具有如下优点或有益效果：通过将静电消除装置设置于光刻机的工作台上，且静电消除装置位于晶圆传输载台的上方，在晶圆传输过程中，去除晶圆表面的静电，避免忘记去除静电，导致晶圆表面损坏，以提高晶圆的成品率。