[发明专利]铜铟镓硒薄膜太阳能电池的缓冲层沉积装置

摘要

本发明涉及一种太阳能电池的处理设备。一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池的缓冲层沉积装置，包括传送辊，在传送辊的两侧设有侧托，侧托和传送辊构成衬底的支撑平台，所述的衬底上方设有喷嘴组件，所述的喷嘴组件包括喷嘴本体，喷嘴本体的上板上设有溶液进口，在喷嘴本体的下板上设有溶液出孔，喷嘴本体的下板两侧的溶液出孔最多。本发明提供了一种喷洒效果好，衬底表面液体均匀性好，充分提高了化学喷射沉积薄膜的均匀性的铜铟镓硒薄膜太阳能电池的缓冲层沉积装置结构；解决了现有技术中存在的喷洒不均匀，衬底沉积效果不理想的技术问题。