[发明专利]光纤探针阵列的校准结构及其校准方法有效
| 申请号： | 202011463882.7 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112611543B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 冯朋;刘敏;肖希;王磊;吴定益 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01D18/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李路遥;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种光纤探针阵列的校准结构及其校准方法，校准结构包括多个光电探测器以及多个光栅耦合器，光电探测器能够与光纤探针阵列排列方向上的至少两个探针一一对应，光电探测器用于将来自对应的探针的测试光束转换为电信号；光栅耦合器能够与光纤探针阵列对应的排列方向上的至少两个探针一一对应，光栅耦合器用于将测试光束传输至对应的探针、或接收来自对应的探针的测试光束，本申请实施例提供的校准结构以及校准方法成本较低，校准效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 探针 阵列 校准 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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