[发明专利]一种具有寄生二极管的MOS栅控晶闸管及其制造方法有效
申请号: | 202011463075.5 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN112563326B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 陈万军;张舒逸;刘超;张波 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/749 | 分类号: | H01L29/749;H01L29/74;H01L21/332 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 孙一峰 |
地址: | 611731 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及功率半导体技术领域,具体的说是适用于脉冲功率领域的一种具有寄生二极管的MOS栅控晶闸管及其制造方法。本发明主要通过改进常规MOS栅控晶闸管的器件结构,在栅极与阴极之间引入寄生二极管,避免了MOS栅控晶闸管应用于脉冲功率领域时因栅介质击穿导致脉冲系统发生失效,以及静电放电时因栅介质击穿导致器件失效的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 寄生 二极管 mos 晶闸管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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