[发明专利]平坦度测量治具和蒸镀系统在审
| 申请号： | 202011452670.9 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112595222A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王洪胜;魏立超;杨林;高翔;沈帅 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28;G01B21/30;G01B21/00;G01B5/00;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾丽波;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了平坦度测量治具和蒸镀系统。所述平坦度测量治具包括：底座；工作台，其包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；至少一个支撑柱，所述至少一个支撑柱设置在所述底座上，并且用于支撑所述工作台；至少一个传感器，所述至少一个传感器中的每一个设置在所述至少一个第一孔之一中，并且用于测量待测对象的表面的平坦度；以及至少一个显示器，所述至少一个显示器中的每一个通过信号线连接至所述至少一个传感器中的一个传感器，以显示该传感器的测量值。 | ||
| 搜索关键词： | 平坦 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011452670.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超大型环件表面整形方法及专用装置
- 下一篇：一种固体废物处理用压实设备
