[发明专利]一种用于掩膜光刻机的压紧装置在审
| 申请号： | 202011443121.5 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112526831A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 陈文学 | 申请（专利权）人： | 江西舜源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 337000 江西省萍乡*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于掩膜光刻机的压紧装置，包括下压块和上压块，所述下压块底面拐角处竖向焊接有第二螺杆，且第二螺杆外表面螺纹套接有套筒，并且套筒底面通过轴向旋转座转动连接有底座，所述底座底面固定安装有电磁铁。有益效果：本发明通过驱动马达带动第一螺杆转动，从而带动上压块下降，带动上压块底面的压条与下压块顶面的压条压住掩膜版，从而固定压紧掩膜版，减少光刻时的晃动，从而使光刻成像更加清晰，进而提高了光刻效率，在压紧的过程中，压条产生变形收缩，从而使压力传感器与掩膜版边框接触，检测压力，当压力过大时，工作人员可停止驱动马达，避免压力过大而损坏掩膜版，从而在压紧的过程中保护掩膜版，使用更加高效安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 压紧 装置 | ||
【主权项】：
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