[发明专利]一种用于掩膜光刻机的压紧装置

权利要求书

1.一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，包括下压块(2)和上压块(1)，所述下压块(2)底面拐角处竖向焊接有第二螺杆(14)，且第二螺杆(14)外表面螺纹套接有套筒(16)，并且套筒(16)底面通过轴向旋转座(19)转动连接有底座(18)，所述底座(18)底面固定安装有电磁铁(17)，所述下压块(2)正立面及背立面底面横向固定安装有挑板(12)，且挑板(12)顶面固定安装有马达箱(22)，并且马达箱(22)一侧安装有齿轮箱(13)，所述下压块(2)侧壁位于齿轮箱(13)正上方固定连接有底块(10)，且底块(10)内部贯穿连接有圆杆(25)，并且圆杆(25)底面贯穿齿轮箱(13)焊接有第一斜齿轮(20)，所述马达箱(22)内部安装有驱动马达(11)，且驱动马达(11)的主轴另一端贯穿齿轮箱(13)焊接有第二斜齿轮(21)，并且第二斜齿轮(21)和第一斜齿轮(20)啮合，所述下压块(2)正上方设置有上压块(1)，且上压块(1)底面和下压块(2)顶面均粘贴有压条(3)，所述压条(3)表面开设有安装槽(7)，且安装槽(7)内部安装有压力传感器(6)，所述上压块(1)外壁位于底块(10)正上方焊接有顶块(8)，且顶块(8)内部贯穿螺纹连接有第一螺杆(9)，并且第一螺杆(9)底面与圆杆(25)顶面焊接，所述上压块(1)之间贯穿连接有连杆(4)，所述下压块(2)之间贯穿连接有连杆(4)，所述圆杆(25)外壁位于底块(10)内部固定套接有内柱(24)，且内柱(24)顶面和底面均开设有滚珠槽(28)，所述滚珠槽(28)内部滚动连接有滚珠(27)，且滚珠(27)与底块(10)内顶面和内底面滚动抵接。

2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述上压块(1)两端和下压块(2)两端均开设有导向孔(5)，且导向孔(5)内部固定安装有摩擦筒(23)，所述连杆(4)贯穿入摩擦筒(23)中并与摩擦筒(23)内壁滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述套筒(16)外壁顶面固定套接有六角螺母(15)，且套筒(16)竖直设置。

4.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述底座(18)为圆饼型结构，所述轴向旋转座(19)底面与底座(18)顶面中心位置固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压条(3)采用橡胶材质，且压条(3)宽度小于掩膜版边框宽度。

6.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述第一螺杆(9)顶面焊接有限位圆板，且限位圆板直径大于第一螺杆(9)直径。

7.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述底块(10)内部为中空结构，且底块(10)顶面和底面均开设有通孔，并且通孔内壁安装有轴承(26)，所述圆杆(25)通过轴承(26)与底块(10)转动连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述驱动马达(11)采用小型可逆电机，且驱动马达(11)型号为M6RX6G4GGA。

9.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述连杆(4)采用不易变形金属杆件，且连杆(4)断面为圆形。

10.根据权利要求1所述的一种用于掩膜光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压力传感器(6)布设有多个，且压力传感器(6)型号为P335。