[发明专利]一种用于掩膜光刻机的压紧装置

说明书

本发明公开了一种用于掩膜光刻机的压紧装置，包括下压块和上压块，所述下压块底面拐角处竖向焊接有第二螺杆，且第二螺杆外表面螺纹套接有套筒，并且套筒底面通过轴向旋转座转动连接有底座，所述底座底面固定安装有电磁铁。有益效果：本发明通过驱动马达带动第一螺杆转动，从而带动上压块下降，带动上压块底面的压条与下压块顶面的压条压住掩膜版，从而固定压紧掩膜版，减少光刻时的晃动，从而使光刻成像更加清晰，进而提高了光刻效率，在压紧的过程中，压条产生变形收缩，从而使压力传感器与掩膜版边框接触，检测压力，当压力过大时，工作人员可停止驱动马达，避免压力过大而损坏掩膜版，从而在压紧的过程中保护掩膜版，使用更加高效安全。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体来说，涉及一种用于掩膜光刻机的压紧装置。

背景技术

光刻机又名:掩膜对准曝光机，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机，高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。

现阶段的掩膜对准光刻机内部安装有掩膜版安装架，一般位于伺服移动平台的上方，传统的掩膜版安装架夹持掩膜版不够稳定，容易导致掩膜版产生轻微晃动，造成成像不清晰的问题，还可以进一步作出改进，另外，传统的安装架不方便针对掩膜版的大小进行形状调节，通用性较低，给生产带来一定的麻烦，同时，传统的固定安装架对于掩膜版安装高度的调整也不方便，需要进行大量的拆装工作，也还可以进一步做出改进。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于掩膜光刻机的压紧装置，具备使光刻更加清晰、使用更加安全、便于调整大小和高度、使用更加便利的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述使光刻更加清晰、使用更加安全、便于调整大小和高度、使用更加便利的优点，本发明采用的具体技术方案如下：

一种用于掩膜光刻机的压紧装置，包括下压块和上压块，所述下压块底面拐角处竖向焊接有第二螺杆，且第二螺杆外表面螺纹套接有套筒，并且套筒底面通过轴向旋转座转动连接有底座，所述底座底面固定安装有电磁铁，所述下压块正立面及背立面底面横向固定安装有挑板，且挑板顶面固定安装有马达箱，并且马达箱一侧安装有齿轮箱，所述下压块侧壁位于齿轮箱正上方固定连接有底块，且底块内部贯穿连接有圆杆，并且圆杆底面贯穿齿轮箱焊接有第一斜齿轮，所述马达箱内部安装有驱动马达，且驱动马达的主轴另一端贯穿齿轮箱焊接有第二斜齿轮，并且第二斜齿轮和第一斜齿轮啮合，所述下压块正上方设置有上压块，且上压块底面和下压块顶面均粘贴有压条，所述压条表面开设有安装槽，且安装槽内部安装有压力传感器，所述上压块外壁位于底块正上方焊接有顶块，且顶块内部贯穿螺纹连接有第一螺杆，并且第一螺杆底面与圆杆顶面焊接，所述上压块之间贯穿连接有连杆，所述下压块之间贯穿连接有连杆，所述圆杆外壁位于底块内部固定套接有内柱，且内柱顶面和底面均开设有滚珠槽，所述滚珠槽内部滚动连接有滚珠，且滚珠与底块内顶面和内底面滚动抵接。

进一步的，所述上压块两端和下压块两端均开设有导向孔，且导向孔内部固定安装有摩擦筒，所述连杆贯穿入摩擦筒中并与摩擦筒内壁滑动连接。

进一步的，所述套筒外壁顶面固定套接有六角螺母，且套筒竖直设置。

进一步的，所述底座为圆饼型结构，所述轴向旋转座底面与底座顶面中心位置固定连接。

进一步的，所述压条采用橡胶材质，且压条宽度小于掩膜版边框宽度。