[发明专利]一种用于立式双面镀膜的基板夹具

摘要

本发明公开了一种用于立式双面镀膜的基板夹具，该种用于立式双面镀膜的基板夹具包括下托盘、上托盘、基片、夹紧装置和主体支架，所述夹紧装置的锁在主体支架上，下托盘和上托盘之间装夹有基片，下托盘和上托盘通过夹紧装置夹紧贴合，下托盘和上托盘上设有镂空片位，镂空片位的边缘处向外延伸设置有边缘挡块，镂空片位的四角处设置有四角挡块，上托盘四周框架边缘设置有梯形凸台，下托盘上设置有与梯形凸台配合的梯形凹槽，基片被边缘挡块和四角挡块限制在中间狭小的空间。通过上述方式，本发明不易出现掉片及歪片现象；便于最大面积的双面镀膜；减小了镀膜遮挡区域，减小基片镀膜无效区；弹簧加挡板的夹紧设计便于实现量产自动化操作。