[发明专利]一种用于立式双面镀膜的基板夹具在审
| 申请号: | 202011417366.0 | 申请日: | 2020-12-07 |
| 公开(公告)号: | CN112458423A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
| 发明(设计)人: | 杨星;李长江;周文彬 | 申请(专利权)人: | 苏州晟成光伏设备有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 立式 双面 镀膜 夹具 | ||
1.一种用于立式双面镀膜的基板夹具,其特征在于:该种用于立式双面镀膜的基板夹具包括下托盘、上托盘、基片、夹紧装置和主体支架,所述夹紧装置的锁在主体支架上,下托盘和上托盘之间装夹有基片,下托盘和上托盘通过夹紧装置夹紧贴合,所述下托盘和上托盘上设有便于镀膜的镂空片位,镂空片位的边缘处向外延伸设置有边缘挡块,镂空片位的四角处设置有四角挡块,上托盘四周框架边缘设置有梯形凸台,下托盘上设置有与梯形凸台配合的梯形凹槽,基片被边缘挡块和四角挡块限制在中间狭小的空间。
2.根据权利要求1所述的一种用于立式双面镀膜的基板夹具,其特征在于:所述夹紧装置包括锁紧螺柱、弹簧和挡板,所述锁紧螺柱锁附在主体支架上,锁紧螺柱上从上到下依次套有弹簧和挡板,所述挡板延伸部位于下托盘和上托盘上方。
3.根据权利要求1所述的一种用于立式双面镀膜的基板夹具,其特征在于:所述边缘挡块设计为矩形、半圆、三角形或组合,镂空片位边缘垂直尺寸为0.1mm~10mm,镂空片位边缘平行尺寸为0.1mm~10mm,所述边缘挡块数量不限。
4.根据权利要求1所述的一种用于立式双面镀膜的基板夹具,其特征在于:所述四角挡块设计为直倒角、圆倒角或镂空片位的四角处不设挡块,倒角尺寸为0.1mm~10mm。
5.根据权利要求1所述的一种用于立式双面镀膜的基板夹具,其特征在于:所述梯形凸台与梯形凹槽相对应,梯形凸台可完全置于梯形凹槽中并贴合,贴合后梯形面间隙小于0.01mm。
6.根据权利要求1所述的一种用于立式双面镀膜的基板夹具,其特征在于:所述镂空片位设计为单个片位或设计为多个片位。
7.根据权利要求1所述的一种用于立式双面镀膜的基板夹具,其特征在于:所述主体支架上设有与上托盘上镂空片位相对的镂空。
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