[发明专利]一种用于立式双面镀膜的基板夹具

说明书

本发明公开了一种用于立式双面镀膜的基板夹具，该种用于立式双面镀膜的基板夹具包括下托盘、上托盘、基片、夹紧装置和主体支架，所述夹紧装置的锁在主体支架上，下托盘和上托盘之间装夹有基片，下托盘和上托盘通过夹紧装置夹紧贴合，下托盘和上托盘上设有镂空片位，镂空片位的边缘处向外延伸设置有边缘挡块，镂空片位的四角处设置有四角挡块，上托盘四周框架边缘设置有梯形凸台，下托盘上设置有与梯形凸台配合的梯形凹槽，基片被边缘挡块和四角挡块限制在中间狭小的空间。通过上述方式，本发明不易出现掉片及歪片现象；便于最大面积的双面镀膜；减小了镀膜遮挡区域，减小基片镀膜无效区；弹簧加挡板的夹紧设计便于实现量产自动化操作。

技术领域

本发明涉及半导体器件生产技术领域，特别是涉及一种用于立式双面镀膜的基板夹具。

背景技术

太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源，不产生任何的环境污染，在太阳能的有效利用当中，太阳能光电利用是近些年来发展最快，最具活力的研究领域，是其中最受瞩目的项目之一，为此，人们研制和开发了太阳能电池，近年来PERC太阳能电池进入发展的瓶颈期，异质结太阳能电池与TOPCon太阳能电池作为新型技术，效率提升潜力大。

无论是常规PERC电池还是TOPcon结构、HIT结构，都需要等离子体镀膜工艺制备薄膜，目前常规镀膜设备基本为卧式结构，载板采用板式滚轮传动，这种传动方式使用的载板结构常为与硅片尺寸对应的凹槽结构，硅片由于自重被凹槽限制在内，而这种镀膜结构常存在掉渣、需要翻片等缺点，立式镀膜设备也逐渐成为考虑的设计方案，这种方案所需的载板为接近竖直方向传动，则常规载板直接使用则会存在极大几率掉片破片的风险，基于以上缺陷和不足，有必要对现有的技术予以改进，设计出一种用于立式双面镀膜的基板夹具。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种用于立式双面镀膜的基板夹具，不易出现掉片及歪片现象；便于最大面积的双面镀膜；减小了镀膜遮挡区域，有利于减小基片镀膜无效区；弹簧加挡板的夹紧设计便于实现量产自动化操作。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种用于立式双面镀膜的基板夹具，该种用于立式双面镀膜的基板夹具包括下托盘、上托盘、基片、夹紧装置和主体支架，所述夹紧装置的锁在主体支架上，所述主体支架用于放置下托盘，下托盘上设有与之配合上托盘，下托盘和上托盘之间装夹有基片，下托盘和上托盘通过夹紧装置夹紧贴合，主体框架有利于加固整个基板夹具减小变形，所述下托盘和上托盘上设有便于镀膜的镂空片位，镂空片位的边缘处向外延伸设置有边缘挡块，镂空片位的四角处设置有四角挡块，上托盘四周框架边缘设置有梯形凸台，下托盘上设置有与梯形凸台配合的梯形凹槽，梯形凸台与梯形凹槽的设计可保证上下托盘合拢时的准确度，同时也可以起到保护边缘挡块和四角挡块的作用，基片被边缘挡块和四角挡块限制在中间狭小的空间，盘立起来后也可保持稳定，便于立式镀膜。

优选的是，所述夹紧装置包括锁紧螺柱、弹簧和挡板，所述锁紧螺柱锁附在主体支架上，锁紧螺柱上从上到下依次套有弹簧和挡板，所述挡板延伸部位于下托盘和上托盘上方。

优选的是，所述边缘挡块设计为矩形、半圆、三角形或组合，镂空片位边缘垂直尺寸为0.1mm～10mm，镂空片位边缘平行尺寸为0.1mm～10mm，所述边缘挡块数量不限。

优选的是，所述四角挡块设计为直倒角、圆倒角或镂空片位的四角处不设挡块，倒角尺寸为0.1mm～10mm。

优选的是，所述梯形凸台与梯形凹槽相对应，梯形凸台可完全置于梯形凹槽中并贴合，贴合后梯形面间隙小于0.01mm。

优选的是，所述镂空片位设计为单个片位或设计为多个片位。

优选的是，所述主体支架上设有与上托盘上镂空片位相对的镂空。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：