[发明专利]一种超精密磨削砂轮及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202011404932.4 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112536733B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 叶腾飞;张高亮;赵延军;谷春青;钱灌文;王礼华;熊华军;吴武山;王海龙 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司;郑州大学 |
| 主分类号： | B24D3/22 | 分类号： | B24D3/22;B24D3/28;B24D18/00 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 蔡艳 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于超硬磨具技术领域，具体涉及一种超精密磨削砂轮及其制备方法和应用。所述超精密磨削砂轮，包括金刚石20‑30份、普通磨料15‑20份、聚四氟乙烯粉5‑10份、改性填料5‑15份、热塑性聚氨酯橡胶粉5‑10份、树脂粉35‑55份、增强纤维1‑10份。本发明制备的砂轮锋利度明显提升，有效降低对半导体晶圆材料边棱的切削损伤，提高表面加工质量，降低边缘大小不一的崩口率，增加磨削一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 磨削 砂轮 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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