[发明专利]用于硅锭的柴氏生长的侧边进料系统在审
| 申请号： | 202011398357.1 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN112680786A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | W·L·卢特尔;V·A·洛埃尔;D·S·威廉斯;H·P·辛西彻勒;N·米登多夫 | 申请（专利权）人： | GTATIP控股有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;李兵霞 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于硅锭的柴氏生长的侧边进料系统。具体地，本发明揭露一种柴式生长系统，包括生长腔，隔离阀，含有原料的进料腔，以及进料机。该隔离阀置于该生长腔的至少一个侧边壁中，而该进料腔通过该隔离阀而真空密封至该生长腔。该进料机通过该隔离阀可插入至该生长腔且提供该原料至该生长腔。优选地，此系统能使用连续柴式方法用来制造硅锭。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生长 侧边 进料 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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