[发明专利]基于电镜图像的集成电路金属圆孔自动识别方法及系统

摘要

本发明属于图像识别技术领域，具体涉及了一种基于电镜图像的集成电路金属圆孔自动识别方法及系统，旨在解决传统图像处理方法在进行集成电路金属圆孔识别时对图像质量要求较高，无法保证普适和高准确率，而间接的逻辑判断的方法需要人为定义判断规则，准确率和效率较低的问题。本发明包括：对待分析集成电路的电镜图像进行特征增强；进行增强后的图像的二值化，并进行形态学处理；将获得的金属圆孔候选点转化为候选区域，并提取梯度特征；通过分类模型进行特征分类预测，获得待分析集成电路的电镜图像的圆孔点。本发明可用于电镜图像中集成电路金属圆孔结构的自动识别与定位，效率高、准确性好，并且具有很高的实时性，应用范围广泛。