[发明专利]一种电子显微镜在审
| 申请号： | 202011393110.0 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114220725A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 李帅 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/244 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一探测器，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于接收所述电子束作用于待测样品上产生的二次电子；控制电极，设置于所述第一探测器与所述电子束的光轴之间，用于改变所述电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电子的运动方向。本发明提供的一种电子显微镜，能够探测到纯的电子束作用于待测样品上产生的二次电子。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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