[发明专利]一种多孔高熵合金氧化物薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202011378989.1 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112553576B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 王泽;王云壮;秦青丰;毕伟;孙志娟;夏少华;王成;张扬;杨林;李小平;雷卫宁;叶霞 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 张红艳 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于高熵合金技术领域，具体涉及一种多孔高熵合金氧化物薄膜及其制备方法。本发明对CoCrFeMnNi靶材和Al靶材进行共溅镀，然后浸泡在脱合金溶液中进行脱合金处理，得到多孔高熵合金薄膜，最后再利用封管热处理，在表面得到多孔高熵合金氧化物薄膜。本发明制备的多孔高熵合金氧化物薄膜不仅孔隙均匀、硬度高、耐腐蚀，而且孔隙密度可以通过控制组元Al成分来调节，制备工艺简单，能大面积作业，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 合金 氧化物 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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